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磁控溅射镀膜仪
溅射沉积制备高质量的单层膜或多层膜;可以制备金属、半导体以及绝缘体薄膜;通过调节溅射气氛,可制备出各种非化学计量比的化合物薄膜。
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电子束蒸发镀膜
蒸镀低熔点金属、难熔金属、非金属氧化物及合金等材料,用于制备光电薄膜、半导体器件薄膜、铁电薄膜等;配双探头膜厚仪。
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陶瓷流延成型系统
将陶瓷浆料通过流延机浇注口,使浆料涂布在绕行的PET膜上,从而形成一层均匀的浆料薄膜层,再通过热风区干燥后 可得到陶瓷膜片。
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材料喷墨打印机
根据设计图案,将各种功能性液体精细喷射到材料表面,包括陶瓷、玻璃、单晶硅基片、塑料等柔性材料,从各种膜,凝胶体和薄膜,到纸张产品。
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划片机
用于硅片、陶瓷、玻璃基板等的精确切割。
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手动键合机
用于薄膜材料器件封装及表面电学测试引线。如:微波器件、光电器件RF 模块、声表器件、MEMS 器件、立体三微器件等。
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