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射频辉光放电原子发射光谱仪

陶瓷、金属、薄膜、电极等材料组成元素定性、定量超快速分析；同时获取元素及深度信息；可对C、H、O、N进行定量分析。

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X射线荧光光谱仪（XRF）

能量色散型X射线荧光光谱仪利用X射线光子激发待测物质中的原子，使之产生次级的特征X射线（X光荧光），根据特征X射线的能量差别，进行元素种类和含量分析。

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台阶仪

用于测试薄膜材料的厚度、元器件结构的台阶高度与深度以及材料表面的三维形貌，被广泛应用在材料科学及检测研究领域。同时，还能通过仪器控制软件表征材料表面应力、粗糙度、波纹度等信息，通过三维形貌可以表征分析材料表面的信息。

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金相显微镜

用于观察金属和矿物等不透明金相组织，鉴别和分析其组织结构。

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亚微米级分辨率CT（X射线显微镜）

空间分辨率：≤0.5μm（40×物镜），0.9μm（20×物镜），当X射线源距样品旋转轴50mm时，最佳空间分辨率≤1.0μm。最小可实现的体素（最大放大倍率下样品的体素大小）≤40 nm（40×物镜）。样品台移动范围：X轴≥50mm；Y轴≥100mm；Z轴≥50mm。样品台可承受样品尺寸≥290 mm（X射线能穿透的情况下）

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X射线光电子能谱仪（XPS）

高灵敏度 XPS 可确定样品表面的元素成分、比例和化学价态。可做深度剖析 XPS，成像 XPS，角分辨 XPS。配有单离子及团簇式离子双模式离子枪，可用于样品表面清洁和离子散射谱 ISS 测试。配有同轴反射电子能量损失谱（REELS），可对氢元素进行定性定量分析。

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